MIRA試樣室掃描電鏡(LC-SEM)。作為世界上的一種掃描電鏡,自從195年推出后,它已得到廣泛應用。并已開發出各種不同的探測設備來滿足不同的需求。是FIB和FTIR提供了準確的,直到在分子層面的分析。LC–SEM適用于研究和開發。
使用掃描電子顯微鏡時在材料科學中面臨的挑戰之一是被測樣品的大小限制。通常情況下,只能對直徑在數十到數百百毫米小的樣本進行研究。這限制了可以使用這一重要測試技術分析的樣品。MIRA試樣室掃描電鏡(LC-SEM)克服了這一點,并廣泛應用在非破壞性試驗中。其真空室尺寸和光學系統擴展視圖功能多可容納至直徑1500m的樣品。
LC-SEM 真空室和真空系統
LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3三種型號,可:直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統裝配有強大的三個泵:旋片和轉子泵應用于低真空,渦輪增壓泵應用于高真空,可實現 10-6 mbar的高真空。該系統有的能力,除去腔室中試樣的氣體,在45分鐘內便可以實現所需的真空度。設置有多層墻體,腔室設計還了不受任何外部磁場的影響。
的定位系統
如果一個人觀察一個小的對象,他們將扭轉對象,人眼-可視化系統-是固定的。當觀察一個更大的物體時,人會在物體周圍左右移動,以便觀察它。種情況是類似于標準SEM的情況,而后者則反映了LC-SEM的情況。
LC-SEM 配備了定位系統,通過移動電子和探測器以及完整的光學系統可以滿足同角度的視角觀察。裝有一個5+1旋轉軸系統,并可移動樣品,減少了裝載周期數。
成像和分析能力
通過裝備的電子,LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的圖像放大能力,加上強大的二次反射電鏡的通道探測器,整個系統通過多個運行系統圖像的質量。阻尼系統可以外部振動影響系統,同時電子和探測器有一個的冷卻循環系統。
100%的計算機控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的軟件。
擴展功能
分析系統
通過分析系統的集成,在腔室的真空環境下,通過能量發散X射線光譜儀(EDS)和電子背散射衍射系統(EBSD),LC-SEM擁有生成完整的測試結果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦離子束(FIB)和傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR)實現其擴展功能。
除了研究大樣本,LC–SEM還可應用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統技術領域生產過程的現場觀測中。
大試樣掃描電鏡也使得它可以執行“中斷監控”較大的工程部件的實驗。例如,測試高壓泵的高負荷部件摩擦特性,可以通過進行中斷監控來研究。這些部件在正常工作一段時期后,可在 LC–SEM 中觀察研究,之后可以再立即工作,從而得到不同階段的摩擦特性。這種監測系統的方式將打開一個不同的、廣闊的工程應用領域,使得我們能夠獲得更密切和更詳細的對磨合和破壞過程的了解。
在LC-SEM內的疲勞試驗
為了滿足評估原位變形特性研究的需要,將一個機械液壓疲勞測試框架融入到了腔室中,可以在LC-SEM中執行疲勞測試。
在這種聯合測試中,不能確定材料過載臨界點,而且裂紋也能被觀察和研究,晶體材料的特性能在執行疲勞試驗后進行研究,由此顯微鏡轉換成了一個完整的測試設備,能提供完整的測試結果。該系統能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結構變化,同時能夠觀察微觀結構對初期裂紋擴展的影響。該系統還設計有一個節點控制機制,允許感興趣的點留在視野當中。本機的優異的穩定性,能夠疲勞-開裂現象的原位研究。
應用行業
汽車
航空、航天
軍事與國
文化與考古
半導體和電子元件
醫藥與生物材料
法
材料科學
應用領域
非破壞性檢測
原位分析
故障分析
研究與開發







