主要技術指標：
1.測量范圍：X＝800mm，Y＝1000mm，Z＝600mm
2.空間測量示值誤差：E≤2.9＋L/250µm
3.探測誤差：R≤2.9µm
4.分辨率：0.5µm
5.運動速度：400mm/s
6.承受重量：1000kg
7.儀器重量：1700kg
8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm
9.環境要求：
溫度范圍：20&plun;2℃，0.5℃/h，<1＆＃61616；C/24h
氣源壓力：0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
濕度范圍：30%-70%
電源：220V&plun;10%，50Hz
功率：1KV
地面振動：振動頻率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
10 Hz<振動頻率≤30 Hz 振幅≤1μm
振動頻率≥30 Hz 振幅≤3μm
1.測量范圍：X＝800mm，Y＝1000mm，Z＝600mm
2.空間測量示值誤差：E≤2.9＋L/250µm
3.探測誤差：R≤2.9µm
4.分辨率：0.5µm
5.運動速度：400mm/s
6.承受重量：1000kg
7.儀器重量：1700kg
8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm
9.環境要求：
溫度范圍：20&plun;2℃，0.5℃/h，<1＆＃61616；C/24h
氣源壓力：0.6MPa～0.8MPa，200L/min（0.4MPa）
濕度范圍：30%-70%
電源：220V&plun;10%，50Hz
功率：1KV
地面振動：振動頻率≤10 Hz 振幅≤0.5μm
10 Hz<振動頻率≤30 Hz 振幅≤1μm
振動頻率≥30 Hz 振幅≤3μm
