凈化后質量指標:經脫水干燥、≤-90℃,或根據用戶具體情況而定,經后級凈化,可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳氫等等雜質,使空氣潔凈要求。
操作壓力:輸入≥0.8MPa(壓力愈高愈好),輸出壓力略低于輸入壓力
處量:1—1000Nm³/h
適應范圍:實驗室氣體分析、載氣、標準氣/混合氣配氣、半導體材料生產、有色金屬加工、精細化工。
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