UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機
產品簡介:
UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機是一種高雙面研磨和拋光設備。它能同時對4片2"的基片進行雙面研磨和拋光,并獲得在直徑2"區域內TTV 小于1um。所以它是一臺在實驗室研磨拋光Si,Ge 和氧化物單晶基片的理想工具。
帶拋光墊的不銹鋼下磨盤
固定不同尺寸的輪
技術參數:
1、研磨盤尺寸:225(外徑)x 94(內徑)x 15(厚度)mm
2、上磨盤的重量及配重:5.5kg(3kg 配重)
3、輪規格:z=54 m=1.5 dia.81mm(環氧)
4、輪多使用數量:4
5、加工基片尺寸:dia.60mm
6、平面度和平行度:0.001mm
7、研磨和拋光:+/-0.001mm
8、表面質量:>grade 10
9、輸入電源:單相 AC 220v
10、電機:DC110V/600W/0~1500rpm 可調
產品規格:
外形尺寸:615x375x494mm 凈重:80kg
可選配件:
一套輪有4個,不是標配件,但我司能提供。一個輪能固定基片的尺寸和數量如下:
一片直徑 60 mm 或2"基片
3片直徑 1"基片
14片10x10mm 基片
如需訂購,請告知基片拋光后的尺寸和厚度l








