)型號規格:FLY 15108
l 測量范圍:X=
l 空間測量示值誤差:E≤3.5+L/250μm
l 探測誤差:R≤3.6μm
l 分辨率:0.5μm
l 移動速度:
l 承受重量:
l 主機重量:
l 主機外型尺寸:
2)原裝控制系統
3)精密過濾器
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)型號規格:FLY 15108
l 測量范圍:X=
l 空間測量示值誤差:E≤3.5+L/250μm
l 探測誤差:R≤3.6μm
l 分辨率:0.5μm
l 移動速度:
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l 主機重量:
l 主機外型尺寸:
2)原裝控制系統
3)精密過濾器