采用I.CAL*的軟件在10-12毫巴。升/秒量級,提供卓越的測量速度和穩定性。
系統軟件包括的故障查找的常規自診斷程序。
渦輪分子泵的高抽速與高壓縮比,降低和消除氦污染。
中英文介面,操作簡單方便。
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