技術(shù)參數(shù)
　　1.激光器系統(tǒng)
　　激光波長：1064nm
　　激光平均功率：10W
　　典型光斑尺寸：35µm
　　實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長
　　冷卻方式：風(fēng)冷
　　對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制
　　2.激光束定位系統(tǒng)
　　激光束運(yùn)動(dòng)范圍：60mm X 60mm
　　重復(fù)定位：2µm
　　定位：&plun;5µm
　　激光束小步進(jìn)：0.76µm
　　3.圖像系統(tǒng)
　　方式：激光同軸
　　視場：4-6mm（對(duì)角線）
　　圖像顯示屏：19寸液晶
　　4.測量系統(tǒng)
　　激勵(lì)方式：電流激勵(lì)
　　恒流源：0.01µA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
　　電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
　　直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
　　調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定

　　電阻測量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
　　中阻：<0.05%
　　高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
　　電阻測量范圍：0.01Ω-10MΩ
　　電阻測量速度：25µs
　　直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
　　探針板：44針11通道四線制（可選其它規(guī)格）
　　探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制
　　5.計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)
　　工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），19寸液晶
　　操作系統(tǒng)：Windows XP
　　VB平臺(tái)開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，大
　　6.分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
　　運(yùn)動(dòng)方式：空氣懸浮運(yùn)動(dòng)，無摩擦力
　　運(yùn)動(dòng)范圍：290mm*260mm
　　陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
　　運(yùn)動(dòng)分辨率：1µm
　　重復(fù)：2µm
　　定位：&plun;15µm
　　運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s
　　7.其它技術(shù)指標(biāo)
　　供電電壓：220V AC
　　整機(jī)功耗：1000W