壓電陶瓷電動(dòng)機(jī))的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)具有如下功能和特點(diǎn):
(1)定位,分辨率可達(dá)1μm,10nm:
(2)運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn),10μm/s,250mm/s:
(3)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50~75μs:
(4)整定時(shí)間明顯一般伺服電動(dòng)機(jī),以0.1μm的分辨率為例,1~2ms,為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10:
(5)定位后沒有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問題:
(6)重量輕,體積小:
(7)行程無(wú)限制







