(一)探針臺臺體
總體規格特點
1、重量:約25KGS(帶顯微鏡)
2、尺寸:約350mm(長)*350mm(寬)*400mm(高)(帶顯微鏡)
探針座臺面規格
1、探針臺臺面平整度:≤5µm;
2、臺面可同時容4-6個探針座。
卡盤(載物臺)規格
1、4″卡板,卡板平整度:≤5µm;可放置樣品尺寸為4″X 4″。
2、卡板上可根據客戶要求增加信號連接口,便于與儀器連接。
3、卡板可360度旋轉,方便檢測時調整樣品的位置。
(二)體視顯微鏡 Microscope Stereo
1、本顯微鏡為連續變倍,變倍比為:6.3:1;
2、光學系統內,連續變焦范圍0.8X-5X;
3、目鏡放大倍率:20X;
4、總倍率:16X-100X;
5、雙目觀察傾斜45度,雙眸距調節范圍52-75MM;
6、顯微鏡在Z軸向的調節范圍為50.8MM;
(三)探針座+夾具
總體規格特點
1、重量:200g;
2、10Micron;
3、牙具:50牙/寸
4、X-Y-Z線性移動范圍12mm X 12mm X 12mm
5、磁力底座,其特點:簡易小巧,操作方便。
夾具參數
1、采用彈簧夾具;
2、單層屏蔽線纜采用美國產品;
3、配有BNC(MALE)接頭,方便與儀器相連;
4、漏電≤10PA.
(四)探針
探針參數
探針分類:軟件及硬件
軟件:0.2µm/0.7µm/1µm;
硬件:5µm/10µm/15µm/20µm;
探針材質:針桿為鎳,針尖為鎢;
美國探針,通過SEM(掃描電子顯示顯微鏡檢測)針尖打磨光滑無鱗片狀。
產品的優勢有以下幾點:
1、產品的尺寸可以根據客戶的要求實際更改定制;
2、底板的四個固定腳為震膠墊,可的外界干擾;
3、四根支撐架堅固,銹;
4、簡易臺的體積雖然小巧,但是同樣在臺體的穩固,耐用及銹方面做了設計上的處理,產品的品質;
5、Perfictlab是以半導體FA實驗室為技術支持的設備供應商,了產品的售后服務,服務和技術支持上的強大優勢。






