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氣流質量傳感器
AWM5000 系列大流量 / 放大
在線測量
AWM5000 系列為文丘里流量管形外殼，可以測量至20 升/
分鐘，壓降2.25”水的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸，大
大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
堅固，通用的封裝形式
堅固，塑料的封裝能承受50psi的共模壓力，內部的小型傳感芯片
能允許100 克的沖擊在額定指標下，兩個測量孔是單獨模件，可
在小的模具花費下根據實際更改，式AMP 連接器提供十
分的連接。
內置的信號處理電路
每個AWM5000系列產品都包括含放大` 線性修正` 溫度補償和氣
體標定，氣體標定通過激光校整得到。
圖1 發熱器控制電路
圖2 傳感橋電路和放大線性電路
特點：
● 各種流量接口可選
● 文丘里管設計
● 遠程安裝
● 激光校整CO2，N2 氬氣的標定
流量范圍
后綴- 標定氣體
推薦供電電源VDC
功耗（mW）
反應時間（mA）
點輸出VDC
點漂移，VDC
-20~70?C
共模壓力psi
溫度范圍
沖擊指標
輸出@ 較整點
壓差@滿量程
滿量程輸出漂移
+20?~-25?C
+20?~70?C
線性誤差
遲滯& 重復性
連接器（4pin
receptacle)
泄漏 max
AWM5101
0-5 SLPM
VA- 氬氣（Ar）
Min
8.0
---
---
0.95
---
---
-20~+70?C
100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
5VDC@ 滿量程流量
參照壓力& 氣流表
后綴VA 或VN &plun; 7.0% 讀數，VC &plun; 10.0% 讀數
&plun;3.0% 讀數
&plun;0.5% 讀數
AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
0.1psi/min,在靜態中
AWM5102
0-10 SLPM
VC- 二氧化碳（CO2）
T
10&plun;0.01
---
---
1.00
&plun;0.050
---
AWM5103
0- 15 SLPM
AWM5104
0-20 SLPM
VN- 氮氣（N2）
Max
15
100
60
1.05
&plun;0.200
50
注：1、供電電壓除10.00&plun; 0.01VDC 外，不標定值。
2、線性誤差適用于2-100% 滿量程，但不適用0 LPM 時輸出
3、在50psi 內壓下，AWM5000系列每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時，相對于流量管的連接
器被扭轉，將會破壞O形圈和流量管之間的密封，引起暫時匯漏，可1psi，也可能在指標
內，換上新O形圈后，密封恢復，大約85% 的泄漏在24 小時內消除，48 小時內，可恢復。
安裝尺寸：（供參考）
1 腳：＋供電電壓
2 腳：接地
3 腳：空置
4 腳：輸出電壓
流量方向在殼體標出
技術規格
MINAL
VALU
R1• 3.3K
R2• 5.OK
R3• 1.82K
R4• 24.9K
R5• 24.9K
R7• 200K
R8• 32K
R9• 6.0K
R11• 10K
R12• 400K
R13• 3.5K
R14• 5K
R15• 5K
R16• 400K
R17• 400K
R18• 9K
R19• 1K
Ra• 500
Rb• 3.0K
Rc• 1.0K
Rf• 6.0K
Rh• 800
Ru• 1.5K
Rd• 1.5K
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氣流質量傳感器
AWM5000 系列大流量 / 放大
輸出曲線
線性輸出線性輸出
線性輸出VDC 線性輸出
推薦型號
AWM5104VN
量程
20SLPM