傳統的光譜儀,是在大氣中測量的。進入“真空紫外”段(200納米以下),其光譜特性的測量需在真空條件下,由精密的光學系統來完成。其關鍵技術:
(1) 真空狀態下的精密機械動密封。
(2) 油處理。
(3) 連續可調密封狹縫。
(4) 光柵的機械補償校正。
點:
(1) 對各關鍵環節採用了分布式微處理器的自動控制。
(2) 設計的附加設備,可實現多樣片同時測試,減少了在密封條件下頻繁安裝與拆卸,了測試效率與。
(3) 取消了傳統的動密封,了系統的真空度。
本產品的性能已國外同類產品水平,主要技術指標:
短波長≤50nm(納米)
分辨率:0. 02nm(納米)
國內水平()。







