概要

為監(jiān)測半導(dǎo)體制造工藝中濃度而開發(fā)出來的高濃度計。該設(shè)備通過采用電磁感應(yīng)導(dǎo)電率計測量并實時顯示濃度。廣泛適用于各個使用的制造工藝，例如：清洗蝕刻后的晶片。

特征

實時顯示濃度
可以通過導(dǎo)電率傳感器檢測濃度，通過<導(dǎo)電率>-<氟酸濃度>的檢量線，自動地實時顯示氟酸濃度。

實現(xiàn)了半導(dǎo)體制造工藝中低濃度范圍的高
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造工藝中所使用的溶液的量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。

穩(wěn)定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹脂模塊化，所以不會因溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且，金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中，因此可以對其進(jìn)行穩(wěn)定的檢測。

裝有報警功能
為了實現(xiàn)更加的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限・濃度上上限・濃度下限・濃度下下限的報警輸出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型・輕便，適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途自由選擇。

規(guī)格

應(yīng)用：

蝕刻工業(yè)、半導(dǎo)體

測量原理

2個環(huán)狀螺線管(T1是通過交流電的勵磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當(dāng)傳感器沉浸在溶液中時，溶液將在2個環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流，則會在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場，依照樣品的導(dǎo)電率電流i流過樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會產(chǎn)生相應(yīng)的磁場，并且在T2的線圈中將會產(chǎn)生感應(yīng)電動勢。由于感應(yīng)電動勢e(電壓)與樣品的電導(dǎo)率呈比例關(guān)系，通過測量e可得知電導(dǎo)率值。這樣經(jīng)過檢測的導(dǎo)電率和濃度存在高的關(guān)聯(lián)性，可以根據(jù)預(yù)已知的參考曲線計算得出并顯示濃度。