勻膠機 Spin Coater 品牌:MIDAS
MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的國際品牌，目前用戶過1800臺，在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽，是行業。
技術規格：
儀器特點：
1） 桌上型勻膠機，涂膜厚度范圍：100nm~100um；
2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數的溶液、水溶液；
3） 緊湊型設計，用戶編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，易于操作；
4） 加速及減速速率基于設定的時間/轉速(Ramp Time/RPM value)自動計算；
5） 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進行編輯、控制、存儲、取出涂膠程序，并進行實驗操作。
儀器介紹：
勻膠機有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂膜儀等,主要應用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。
| 項目 Item | 技術規格 Specification |
| 時間 Time | 1~999秒，可調節 |
| 基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
| 卡盤旋轉速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm，直流伺服馬達/交流伺服馬達 |
| 勻膠狀態 Spin State | 50步，20個方案控制(數字程序編輯) |
| 碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸，鋁(經陽氧化工藝)/12英寸，SUS |
| 增/減速率 Accele/deceleration Rates | 可調節 |
| 真空卡盤 Vacuum Chuck | 鋁(陽氧化)，乙縮醛(Acetal) |
| 電源 Electrical Power | 220V, 5A |
| 無油真空壓力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
| 尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |
