SpecEl 橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。
集成的測量系統
SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成,并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達0.005%。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析,的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。









