儀器用途:主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領域,可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明,可以配電動物鏡轉盤、成像系統,可以對應多種需求的系統顯微鏡。
儀器主體參數:
儀器型號:YVM-10080CNC
測量范圍:1000*800*200mm
測量(X.Y):3+L/1000
測量(Z):3+L/300
重復:≤2um
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儀器用途:主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領域,可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明,可以配電動物鏡轉盤、成像系統,可以對應多種需求的系統顯微鏡。
儀器主體參數:
儀器型號:YVM-10080CNC
測量范圍:1000*800*200mm
測量(X.Y):3+L/1000
測量(Z):3+L/300
重復:≤2um