XVSST系列運動平臺是星微科技持續(xù)在材料、加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析和設(shè)計上不斷投入的結(jié)果，我們研發(fā)的目標(biāo)是為今天要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備提供高和出率的運動系統(tǒng)，同時是我們有著在迎接未來的挑戰(zhàn)中保持的技術(shù)能力SST氣浮平臺能滿足在電子及半導(dǎo)體加工、檢測設(shè)備的具有挑戰(zhàn)性的要求。
產(chǎn)品技術(shù)特點
傳統(tǒng)的平面式XY雙驅(qū)氣浮平臺都采用雙氣浮導(dǎo)向?qū)к壍男问剑p氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)在安裝調(diào)試時對導(dǎo)軌本身的以及導(dǎo)軌之間的平行度要求高，并且該結(jié)構(gòu)形式對環(huán)境恒溫要求也很高；SST系列運動平臺為了解決這些問題采用了開放式T型氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計，T型結(jié)構(gòu)具械安裝調(diào)試簡單，對環(huán)境的恒溫要求低，便于集成到客戶產(chǎn)品當(dāng)中。
產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品尺寸圖
應(yīng)用領(lǐng)域
科研；工業(yè)制造；激光加工制造；電子件生產(chǎn)、組裝；半導(dǎo)體制造、檢測；平面顯示器制造、檢測
