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MTI AS-500納米級電容式傳感器
高分辨率：納米級響應頻率：5KHz

特性：
AS-500是具有、穩定性、重復性和分辨率的電容式傳感器。其反應速度快，噪聲干擾小，是檢測轉軸、磁盤、輪胎及晶圓的理想選擇。

AS-500價格經濟、功能強！具備納米分辨率,重量輕、體積小、可隨身攜帶，操作快速簡便。

應用范圍：
AS-500適于半導體、磁盤驅動器、機械用具、電子工業
●位移、●厚度、●同軸度、●振動、●尺寸大小、●平坦度、
●內外徑、●發動機動能

放大器規格：

特點	AS-9000	AS-500	MicroCap
通道數	多 2通道	多6通道	1通道
1測量范圍	0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.)
2分辨率(%滿量程) RMS	0.001%
3(%滿量程)	± 0.02%
頻率響應	標準的濾波器模塊有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz)		可選組件
溫度穩定性	± 0.01% FSR/ °C
模擬輸出 0-10 Vdc	BN	BN	歐洲標準螺絲端子
輸出阻	50
電力需求	85到265 Vac 47到 440Hz	85到 265 Vac 47到 440 Hz 可選12 Vdc	± 15 Vdc
求和放大器	標準的雙通道單位	插板卡式	沒有
操作溫度	4 to 38°C
尺寸	240x160x50mm	175x140x340mm	150x60 x13mm
重量	2.3 kg	4.6 kg	0.11 kg

標準探頭規格：(單位：mm)

	測量范圍	50Hz RMS時的分辨率	的量程擴大倍數1	5kHz RMS時的分辨率	探頭感測直徑	探頭直徑	探頭長度
產品型號	μm	nm	的量程擴大倍數1	nm	mm	mm	mm
ASP-25M-R	25	nm	10x	1.5	1.09	9.49	25.5
ASP-25M-ILR	26	nm	9x	2.5	2.09	10.49	26.5
ASP-25M-A	27	nm	10x	3.5	3.09	11.49	27.5
ASP-25M-ILA	28	nm	9x	4.5	4.09	12.49	28.5
ASP-50M-R	29	nm	9x	5.5	5.09	13.49	29.5
ASP-50M-ILR	30	nm	4x	6.5	6.09	14.49	30.5
ASP-50M-A	31	nm	9x	7.5	7.09	15.49	31.5
ASP-50M-ILA	32	nm	4x	8.5	8.09	16.49	32.5
ASP-125M-R	33	nm	10x	9.5	9.09	17.49	33.5
ASP-125M-ILR	34	nm	2x	10.5	10.09	18.49	34.5
ASP-125M-A	35	nm	10x	11.5	11.09	19.49	35.5
ASP-125M-ILA	36	nm	2x	12.5	12.09	20.49	36.5
ASP-250M-R	37	nm	9x	13.5	13.09	21.49	37.5
ASP-250M-ILR	38	nm	2x	14.5	14.09	22.49	38.5
ASP-250M-A	39	nm	3x	15.5	15.09	23.49	39.5
ASP-250M-ILA	40	nm	2x	16.5	16.09	24.49	40.5
ASP-500M-R	41	nm	3x	17.5	17.09	25.49	41.5
ASP-500M-ILR	42	nm	2x	18.5	18.09	26.49	42.5
ASP-500M-A	43	nm	4x	19.5	19.09	27.49	43.5
ASP-500M-ILA	44	nm	2x	20.5	20.09	28.49	44.5
ASP-1250M-ILR	45	nm	2x	21.5	21.09	29.49	45.5
ASP-1250M-A	46	nm	2x	22.5	22.09	30.49	46.5
ASP-1250M-ILA	47	nm	2x	23.5	23.09	31.49	47.5
ASP-2500M-R	48	nm	2x	24.5	24.09	32.49	48.5
ASP-2500M-ILR	49	nm	2x	25.5	25.09	33.49	49.5
ASP-2500M-A	50	nm	2x	26.5	26.09	34.49	50.5
ASP-2500M-ILA	51	nm	2x	27.5	27.09	35.49	51.5
ASP-5000M-R	52	nm	2x	28.5	28.09	36.49	52.5
ASP-5000M-ILR	53	nm	2x	29.5	29.09	37.49	53.5
ASP-5000M-A	54	nm	2x	30.5	30.09	38.49	54.5
ASP-5000M-ILA	55	nm	2x	31.5	31.09	39.49	55.5

產品型號	ASP-25M-PSR	ASP-50M-PSR	ASP-500M-PSR	ASP-1250M-PSR	ASP-2500M-PSR	ASP-5000M-PSR
μm	25	50	500	1250	2500	5000
小測量范圍 μm	1.27	2.54	25.4	63.5	127	254
nm	0.039	0.079	0.785	1.963	3.926	7.852
測量范圍	9x	4x	2x	2x	2x	2x
nm	0.137	0.274	2.745	6.864	13.728	27.457
E mm	1.09	1.55	4.98	7.98	11.25	15.93
L mm	7.5	7.7	10.2	18	29.75	42.5
W mm	8	8	8	13.9	25.4	38
T mm	2.5	2.5	2.5	2.5	2.5	5

溫度范圍：
標準探頭： -130℃～200℃
高溫探頭： -130℃～650℃
： +/-0.1% 滿量程
電纜長度：標準電纜長度為2.7米，可以定制其他規格
壓力范圍：
標準-200psig
高壓-20000psig附：電容位移傳感器的分辨率（resolution）計算方法感度（sensitivity）=量程（range）/10V(full scale voltage)

噪音=1mv*開更號（Fr/500)(Fr為所選擇的濾波器頻率 )
分辨率(resolution)=感度（sensitivity）×噪音(noise)注意：Fr的選擇要稍大于被測物實際振動頻率

濾波器頻率(Frequency Response filter)	噪音(Noise in mVp-p)
10HZ	0.150mv
50HZ	0.316mv
100HZ	0.447mv
500HZ	1.000mv
1KHZ	1.400mv
2KHZ	2.000mv
5KHZ	3.200mv
10KHZ	4.500mv
20KHZ	6.300mv