一. 概述
復合真空儀，是新型的真空測量儀，它針對國內熱電偶真空測量的實際情況，將國產熱偶傳感器和美國Hastings公司的熱堆傳感器的儀表組合成一個儀表，通過面板按鍵切換傳感器測量的種類，測量數據則采用計算機技術進行優化處理，了產品功能性、實用性和方便性，可應用于航天、機械、石油、化工、冶金、電子及、低溫液體貯運設備等領域的各類真空測量。產品合/T6873-2005。
二. 工作原理
1．ZJ-51熱偶規管
根據低壓強下氣體分子熱傳導特性，當熱偶規管熱絲的加熱電流恒定時，熱絲的溫度將隨管內的壓強而變化，當壓強降低時，氣體分子的熱傳導運動減弱，熱絲的溫度升高；反之，熱絲的溫度減小，熱偶規管輸出的熱電勢反映了熱絲溫度的變化，只要測量規管的熱電勢值，與之對應的系統壓強就確定了。規管輸出的熱電勢經計算機非線性處理后送液晶顯示。
2. DV-6R熱堆傳感器
美國Hastings公司DV-6系列真空測量傳感器是用貴金屬材料制作的熱電偶真空傳感器（附圖）。用低電壓的交流電橋對其熱電偶A和B進行加熱，當真空系統中壓力的變化引起氣體分子碰撞的變化時，熱電偶周圍的氣體或氣體混合物的之間熱傳導隨之變化，這使得熱電偶A和B的溫度變化，而溫度的變化將引起熱電偶A和B之間的直流輸出變化（和壓力變化方向相反），熱電偶C用以對環境溫度的瞬時變化進行補償。熱偶變化的熱電勢反映了熱絲溫度的變化，測量熱電勢值，與之對應的系統壓強就確定了，傳感器輸出的熱電勢經計算機非線性處理后送液晶顯示。
三 傳感器技術指標
1 ZJ-51型的主要技術指標
1.1 量 程：66.5Pa～ 0.1 Pa 1.2 真空度誤差：± 15 %
1.3 加熱電流 ：90～130 mA
2 DV-6R型的主要技術指標
2.1 量 程：1Torr～0.001 Torr
2.2 真空度誤差：±(讀數的15 %+0.001 Torr)（）
2.3 連 接尺 寸：1/8＂npt公螺紋 2.4 操作溫度：－20 ～ +60℃
四 儀器的技術指標
1 ZJ-51型
1.1 測 量 范 圍：500Pa～0.1Pa（0～ 100格）
1.2 誤差范圍：68Pa～0.1Pa 1.3 壓力限誤差：±20 %
1.4 加熱電流范圍：80mA～130mA 1.5 加熱電流誤差：±0.5%
2 DV-6R型
2.1 測 量 范 圍：450Pa～0.1Pa 2.2 誤差范圍：133Pa～0.1Pa
2.2 壓力限誤差：±20%
3 其它技術指標
3.1 工作電源：DC8V；充電AC220/50Hz 3.2 顯示位數：四位數碼LCD
3.3 重 量：0.3Kg 3.4 功 率： 3 VA
3.5 外型尺寸：185×95×38 mm3
