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,BURKERT傳感器產品代碼
響應時間極短，只有幾百毫秒。此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。
一個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位于氣體通道內；另外三個電阻位于氣體通道之外。這
電阻連接成一個測量電橋。氣體通道中的一個電阻 (RT) 測量介質溫度，另一個低阻值電阻
不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電
用于測量流過該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質量流量非常
Response time is very short, only a few hundred milliseconds. Further, the .
。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內，所以當設定值或實際值變化時，該傳感
管道中的層流元件產生一個必需的壓差，使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
structure of the sensor to ensure that its less susceptible to contamination
的硅芯片，用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的
溫度傳感器（分別位于上游和下游）。如使加熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的
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