納米定位臺(tái)
納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Y軸、XY軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包括壓電陶瓷直驅(qū)式與機(jī)構(gòu)放大式兩種，運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)110μm, 具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率、定位具有高的性，壓電平移臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著的作用。
P66.XYZ壓電納米定位臺(tái)為壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)壓電平臺(tái)，采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有無摩擦、無、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，運(yùn)動(dòng)行程110μm，分辨率可達(dá)0.1nm，定位實(shí)現(xiàn)納米級(jí)，可通過自由組合成二維、三維壓電納米定位臺(tái)。
特點(diǎn)：
柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，無摩擦無
行程110μm
開環(huán)與閉環(huán)版本可選
FEA有限元分析優(yōu)化產(chǎn)品性能
可組合成二維、三維納米定位臺(tái)
應(yīng)用：
光纖拉伸/端面檢測/對接 硬盤測試 電化學(xué)加工 3D錫膏檢測 精密定位 顯微成像
