氣浮氣浮平移臺系列是經過我們長期不懈努力推出的，高、剛度強，已獲。國內外水平
氣浮平移臺實現了設計定型，可以快速訂制，行程250mm（12寸）XY臺正在備現貨。
我公司的氣浮平移臺產品，一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法，分辨率200nm，等同于光柵。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩定可達20nm，有成功。
采取隔塵措施后，可應用于高生產場合。
可提供長行程單軸工作臺。
也可采用音圈電機、高絲杠配合我們的5自由度氣浮聯軸器，驅動工作臺。
平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉臺。
天津中精微儀器設備有限公司
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