紅外退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)
采用國(guó)外品牌部件：循環(huán)水路設(shè)計(jì)，帶過(guò)濾部件，延長(zhǎng)清洗爐體水路；紅外燈管壽命5000小時(shí)，峰值波長(zhǎng)約為1.25微米，爐體工藝鏡面拋光。
高控溫：模糊邏輯PID控溫，控溫可達(dá)±0.1℃。
快速控溫：流密度紅外燈設(shè)計(jì)，24秒內(nèi)儀器可快速升溫至1150℃；同時(shí)，爐體的熱容小，配合的冷卻系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)快速降溫。
異常報(bào)警保護(hù)：溫和流量異常時(shí)均會(huì)自動(dòng)切斷加熱，保護(hù)爐膛，報(bào)警的效果。
潔凈控溫：非電阻爐加熱，無(wú)熱保溫材料，更適合在潔凈環(huán)境中使用。
可擴(kuò)展性：帶觀察窗，可配CCD，采集光學(xué)信號(hào)；預(yù)留接口，可加載電學(xué)測(cè)量模塊等。
紅外退火爐應(yīng)用功能
強(qiáng)誘導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶化退火
注入離子后的擴(kuò)散退火
半導(dǎo)體材料的燒成與退火條件研究
快速熱退火、熱氧化和熱氮化
電合金化
晶向化和堅(jiān)化
石墨烯等氣相沉積
碳納米管等外延生長(zhǎng)
單晶基板熱處理
紅外退火爐技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | IRLA-1200 |
溫度范圍 | RT~1150℃ |
溫控 | ±0.1℃ |
升溫速率 | 45℃/s (真空)，40℃/s (氮?dú)? |
測(cè)試氣氛 | 真空， N2 ，惰性氣體 |
樣品尺寸 | 20 x 20 x 2，單位mm |
處理材料類型 | 薄膜、粉體、塊體、液體 |
溫度傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
額定功率 | 4x(1KW-110V/根） |
溫度程序模式 | 溫度-時(shí)間設(shè)置，256步，32個(gè)程序，循環(huán)、保溫等功能模糊PID邏輯控溫，手動(dòng)/自動(dòng)開(kāi)始，U485連接 |
外觀尺寸 | 420X320X220，單位mm |
重量 | 20.5kg |
溫升曲線圖（1150℃）
