壓電物鏡掃描器
芯明天科技——壓電納米定位行業!產品定制服務我們更!每年參加展會:LASER World of PHOTONICS CHINA慕尼黑上海光博會、北京光電周ILOPE、深圳光博會CIOE。
P72-壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器,內置壓電陶瓷,閉環高,響應速度快、滿行程線性度達納米量級,可進行激光聚焦,已廣泛應用與晶圓切割、半導體及微電子加工領域。
特點:
運動范圍100μm
定位達納米級
響應速度可達毫秒級
直線運動無偏航
應用:
晶圓切割 生物顯微 白光干涉 原子力顯微鏡 差動聚焦檢測系統 顯微光學成像









