| 型號 | LCD-70 | LCD-55 | |
| 尺寸 | 2000mm長*1500mm寬*2000mm高 | 1500mm長*1300mm寬*1500mm高 | |
| 重量 | 約2000KG | 約1200KG | |
| 電力需求 | 220V,50~60Hz | ||
| 樣品臺 | 大小 | 1600mm*1000mm | 650mm*550mm |
| 樣品臺X-Y行程 | 樣品臺固定 | 樣品臺固定 | |
| 樣品固定方式 | 自然放置 | 自然放置 | |
| 光源 | 面背光、點背光、上光源 | 面背光、點背光、上光源 | |
| 顯微鏡特性 | 行程 | 1600mm*1000mm*50mm | 650mm*550mm*50mm |
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字) | ||
| 目鏡 | 10X目鏡 | 10X目鏡 | |
| 物鏡 | 配置物鏡:5X,10X,20X,50X、100X(選配) | 配置物鏡:5X,10X,20X,50X、100X(選配) | |
| 物鏡轉盤 | 電動鼻輪 | 手動/電動鼻輪 | |
| 調焦 | 聚焦模式:電動 | 聚焦模式:手動或電動 | |
| 激光特性 | 波長 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 | 波長可選擇1064/532/355/266nm波段 |
| 能量 | 輸出功率2.2mJ/pulse | 輸出功率2.2mJ/pulse | |
| 微加工能力 | 可加工材質:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內雜質等 | 可加工材質:Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內雜質等 | |
| 加工 | 小可加工1*1um(配置100X鏡頭時) | 小可加工1*1um(配置100X鏡頭時) | |
| 冷卻方式 | 可選擇風冷激光或水冷激光 | 可選擇風冷激光或水冷激光 | |
| 控制系統 | 結構 | 精密數控系統,采用高運動控制卡和日本伺服驅動系統和步進系統實現3軸聯合運動,實現X-Y平臺的任意曲線的運動 | 精密數控系統,采用高運動控制卡和日本伺服驅動系統和步進系統實現3軸聯合運動,實現X-Y平臺的任意曲線的運動 |
| 震 | 氣浮震平臺 | ||
| 速度 | 速度分4檔可調,可以設定慢速度,速度下小移動分辨率為1μm,速度不低于150mm/s | 速度分4檔可調,可以設定慢速度,速度下小移動分辨率為1μm,速度不低于150mm/s | |
| 軟件功能 | 軟件系統能夠實現激光控制,光源控制,物鏡轉盤切換,電動聚焦,平臺控制,圖像調整,鼠標激光畫框,等功能。 可實現圖像點擊移動,自定義軌跡,坐標儲存,存儲坐標定位,手動坐標定位,移動鼠標尋跡等功能。 速度可以通過軟件設定,鼠標移動的距離控制。 | PLC,搖桿電機控制 | |
| 可選附件 | 手動控制盒 | ||
| 維修補償鏡頭 | 維修補償鏡頭 | ||
| 定制 | 定制 | ||
| 運用方向 | 70寸以內面板生產工藝不良和缺陷的,亮點、亮線、顯示異常等故障 | 55寸以內面板生產工藝不良和缺陷的,亮點、亮線、顯示異常等故障 |











