PIEZOCONCEPT是生產納米平臺的行業，主要針對納米平臺與分辨率顯微鏡、光子捕獲和原子力顯微鏡配套使用。我們的用戶包括許多世界院校和機構中研究前沿科學技術的和學者。數十年來，科研人員電容傳感器平臺，但是很多的科研工作者都希望有一種更加穩定和線性的新型顯微鏡移動平臺。為了穩定的要求，我們通過長時間的努力研發，終得到了更加精準和穩定的平臺。我們提供一系列的穩納米平臺能夠滿大多數使用顯微鏡前沿研究。
我們產品的特點就是使用的傳感器高端電容傳感器，能夠獲得更強的信號，平臺高穩定性。同時，我們采用低噪聲電子和彎曲設計平臺，能夠亞納米級本底噪聲。
產品概述和特點
主要應用：
航天航空
顯微與成像
技術
納米技術
數據存儲技術
圖像處理
測量/檢測
生物科學與生命科學
集成光學
激光加工與激光光刻
半導體技術
精密加工
技術參數
1軸納米平臺 | HS1
| HS1（帶孔）
| FOC
| Z-INSERT
|
移動范圍（μm） | 30/50/70 | 30/50/70 | 100/200/300 | 100?/200/300 |
分辨率（nm） | 0.03/0.05/0.07 | 0.03/0.05/0.07 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
本底噪聲（nm） | 0.003/0.005/0.007 | 0.003/0.005/0.007 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
重復定位（nm） | 0.06/0.1/0.14 | 0.06/0.1/0.14 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振頻率（Hz） | 4000 | 4000 | 500/350/250 | 500/450/350 |
剛度（N/μm） | 3 | 3 | 0.6/0.4/0.4 | 0.6/0.4/0.4 |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 0.5 | 1 |
Max Load（kg）-橫向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 62.5*69.5*12.6 | 62.5*96.1*12.6 | 53.6*64.2*34.5 | 109.8*159.8*19.1 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準或者控制器 | 標準或者控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 |
2軸納米平臺 | BIO2
| LT2
| LFHS2
| LTHS2
| TT2
|
移動范圍XY（μm） | 100/200/300 | 100/200/300 | 75 | 75 | 5 |
分辨率XY（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075 | 0.075 | 0.005 |
本底噪聲XY（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075 | 0.0075 | 0.0005 |
重復定位XY（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15 | 0.15 | 0.01 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% | 0.02% |
共振頻率XY（Hz） | 500/400 | 500/400 | 3000/200?0 | 1500/1000 | 4000?/2000 |
剛度XY（N/μm） | 0.6.5 | 0.6.5 | 4.0.0 | 2 | N/A |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 1 | 0.5 | 0.2 |
Max Load（kg）-橫向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.2 |
傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 206.5*152.5*15.6 | 155.5*152.5*15.5 | 120.8*120.7*28.5 | 152.5*190*18.5 | 51*60.5*43.2 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 控制器 | 標準或者控制器 | 標準或者控制器 |
3軸納米平臺 | BIO3
| LT3
| LFHS3
| CUBE3
|
移動范圍XYZ（μm） | 100?/200/300 | 100/200/300 | 75/75/50 | 100/200? |
分辨率XYZ（nm） | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.075/0.075/0.05 | 0.1/0.2 |
本底噪聲XYZ（nm） | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.0075/0.0075/0.005 | 0.01/0.02 |
重復定位XYZ（nm） | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.15/0.15/0.1 | 0.2/0.4 |
線性度 | 0.02% | 0.02% | 0.02% | |
共振頻率XYZ（Hz） | 500/400/400 | 500/400/400 | 3000?/2000/1500 | 200?/200/500 |
剛度XYZ（N/μm） | 0.6/0.5/0.5 | 0.6/0.5/0.5 | 4/3/3 | 0.3/0.3/0.6 |
Max Load（kg）-橫向 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Max Load（kg）-垂向 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 | 硅質高分辨率傳感器 |
尺寸W*L*H（mm） | 152.5*213*20.45 | 152.5*193*20.7 | 140*121*33.6 | 140*121*33.6 |
材料 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 |
電源線長度（m） | 2 | 2 | 2 | 2 |
推薦控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 | 標準控制器 |
