JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺
|產品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發的一款在極端環境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷，可以在防輻射屏內營造一個穩定的測試環境。在特殊材料，半導體器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
|技術特點
-防輻射屏和熱沉設計；
?降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
?液氮自動控制系統，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度。
詳細參數
產品類型 | 低溫開循環 | 低溫閉循環 | |
主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | |
型號 | JKZC-JKZC-DCHH-196k | JKZC-JKZC-DCHH4k | |
外形 | 850*850*600mm | 900*850*600mm | |
重? | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50?60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸（鍍金） | 2英寸（鍍金） | |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10A-5pa真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機 |
溫控范圍 | 77K-473K （973k可選） | 4.2K~450K | |
溫控精度和穩定性 | 土 0丄度/±0丄度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優于25mins | 常溫降到：10k優于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 | 體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統 |
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X ?2000X | 16X-200X/40X-280X | |
移動范圍 | 水平360度旋轉，Z軸50.8mm調焦，帶萬向支架 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 4inch | 4inch | |
CCD像素 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||
探針臂 | 探針臂數? | 最多6個 | |
X￥Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
頻率范圍 | JKZC-DCH-67G | ||
探針 | 探針直接 | lum~100um 可選 | |
材質 | 磚鋼，披銅 | ||
真空系統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等 | ||
應用方向 | 高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等 |
