JKZC-DM系列基礎型探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DM系列基礎型探針臺是我司一款基于高校教育與實驗室而研發(fā)的基礎型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊，設計精密，價格實惠，配置靈活，極具性價比。在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到了廣泛運用，配合對應的儀器儀表，用于測試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號，1/f噪聲測試，器件表征測試，RF射頻等。如果您的測試器件pad電極大于50um,此系列探針臺。
|技術(shù)特點
?整機一體化設計，結(jié)構(gòu)緊湊占地小，可放置于手套箱內(nèi)使用；
?自適應減震底座設計，可有效過濾環(huán)境中的震動源干擾；
? U型平臺鍍鎳設計，增大針座加載空間的同時還提高了針座平臺和針座之間的吸附力。
詳細參數(shù)
產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DM4 | JKZC-DM6 | JKZC-DM8 | |
探針臺臺體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機尺寸（mm） | 500L*380W*520H | 550L*420W*520H | 600L*480W*520H | |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | |
自適應減震系統(tǒng) | 自適應減震底座設計，可有效過濾環(huán)境中的震動源干擾 | |||
卡盤大小 | 4英寸,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 6英寸,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 8英寸,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | |
卡盤XY軸行程 | 4英寸*4英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | 6英寸*6英寸，精度10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米（選件） | |||
卡盤材質(zhì) | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | |||
背電極測試功能 | 卡盤鍍金，電學獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | |||
其它功能 | 帶標準接地保護，可升級 | |||
針座平臺 | 材質(zhì) | U型平臺，Q235鍍療，帶接地端子 | ||
大小 | 最多可放置4個探針座 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | |
顯7F系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X | |||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | |||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機構(gòu)，帶顯示器支架 | |||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟型探針座 | ||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | ||
電力需求 | 220V/50HZ |
