JKZC-DSH系列雙面探針臺
|產品概要
JKZC-DSH系列雙面探針臺是我司自主研發的一款雙面探針臺，可完成12英寸晶圓的正反面點針測試。在具備常 規探針臺的功能基礎上,可用于晶圓和PCB板的測試，對晶圓或者PCB板正面和背面同時扎針以實現各種 光/電性能測試需求的測試，或背面點針，正面收集光線等,運用十分豐富。該定制探針臺具有優良的機械系統，穩定的結構，符合人體工程學，以及多項升級功能。此設備在激光器,LD/LED/PD的光強/波長測試等 方面得到了廣泛運用。如果您的產品也有雙面點針,或者背面點針的需求，此款產品。
|技術特點
?雙層設計，可正反面同時點針，可同時加載DC和RF信號；
?卡盤大手柄雙驅動，省時，省力，省心，可升級360度快速移動；
?加厚級剛性金屬框架結構設計,領先的內部防震技術，結構性能穩定。
I詳細參數
產品型號 技術參數 | JKZC-DSH6 | JKZC-DSH8 | JKZC-DSH12 | |
臺體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重量 | 85kg | 100kg | 160 kg | |
卡盤大小 | 6" ,360度轉動，可微調 | 8",360度轉動，可微調 | 12",360度轉動，可微調 | |
卡盤XY軸行程 | 6"*6",精度 10um | 8"*8",精度 10um | 12"*12",精度 10um | |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盤材質 | 高透射玻璃或者鏤空 | |||
固定方式 | 機械式壓片固定或者真空吸附，尺寸可調 | |||
其他功能 | 帶標準接地保護，可升級 | |||
針座平臺 | 類型 | 雙面點針平臺，單個平臺最多■可放置8個JKZC-DR/L-100探針座 | ||
材質 | U型平臺，Q235鍍鎳，帶接地端子，帶接地端子 | |||
正面光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統 | ||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系統 | 2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
背面光學系統 | 顯微鏡類型 | L型單筒顯微鏡 | ||
倍率范圍 | 0.75X-5X | |||
顯微鏡行程 | 40X-280X （可選高倍物鏡增加倍率） | |||
CCD成像系統 | 21＜或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經濟型探針座 | ||
X￥Z行程 | 12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夾具 | 漏電精度 | 同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA | ||
接口形式 | 同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動 | ||
電力需求 | 220W50HZ |
