- 電壓:380
- 功率:4kw
- 適用物料:粉體漿料
- 進料粒度:<100 mm
- 出料粒度:10 um
- 設備尺寸:450*350*750 mm
- 轉速:0-14000
高端芯片用光刻膠在線超高速膠體磨,氟化氪激光光刻膠超高速分散機,氟化氬激光光刻膠管線式膠體磨,極紫外光刻膠高剪切納米均質機,納米芯片膠均質機,KrF光刻膠均質機,ArF光刻膠均質機,EUV光刻膠分散機
從微觀層面看,光刻膠在芯片制造的光刻工藝中扮演著“模具”的角色。在光刻過程中,光刻膠均勻地涂覆在硅片表面,隨后通過特定波長的光線照射,使曝光區域的光刻膠發生化學變化。經過顯影等后續工序,jing確地在硅片上形成所需的電路圖案,其精度直接決定了芯片上晶體管等元件的尺寸和集成度。毫不夸張地說,沒有高質量的光刻膠,就無法制造出高性能、高集成度的芯片。
從宏觀產業層面而言,光刻膠的自主可控對于我國芯片產業的獨立發展意義非凡。長期以來,全球高端光刻膠市場被美日等少數國家的企業牢牢壟斷,我國芯片產業在光刻膠供應上高度依賴進口,這就像在產業發展道路上埋下了一顆“定時炸彈”。一旦國際形勢發生變化,供應中斷,我國芯片產業將面臨停滯的巨大風險。因此,這句話不僅是對光刻膠重要性的生動詮釋,更是對我國光刻膠企業的有力警醒,催促著它們加速構建自身的技術壁壘和市場優勢,堅定不移地打贏光刻膠國產化這場持久戰

上海依肯機械專注于研磨分散設備研發與生產,其生產的 CMSD2000 納米半導體材料高速研磨分散機等設備,適用于半導體光刻膠等物料的研磨,具有轉速高、研磨效果好等特點,設備通過皮帶傳動帶動轉齒與相配的定齒作相對的高速旋轉,被加工物料通過本身的重量或外部壓力加壓產生向下的螺旋沖擊力,透過膠體磨定、轉齒之間的間隙時受到強大的剪切力、摩擦力、高頻振動等物理作用,使物料被有效地乳化、分散和粉碎,達到物料超細粉碎及乳化的效果。設備轉速可達 14000rpm,是普通國產設備轉速的 4-5 倍,研磨分散效率高。可使物料粒徑達到 0.1-1 微米,粒徑分布范圍窄,勻度高,能滿足半導體光刻膠對研磨精度的高要求。此外,其具有短距離、低揚程輸送功能,且研磨過程中物料 100% 通過粉碎分散剪切,無死角,批次間生產的品質差異小。
依肯高端芯片用光刻膠在線超高速膠體磨設備轉速可達 14000rpm-21000rpm,是普通國產設備轉速的 4-5 倍,研磨分散效率高。可使物料粒徑達到納米,粒徑分布范圍窄,勻度高,能滿足半導體光刻膠對研磨精度的高要求。此外,其具有短距離、低揚程輸送功能,且研磨過程中物料 100% 通過粉碎分散剪切,無死角,批次間生產的品質差異小。

影響分散乳化結果的因素有以下幾點
1 分散頭的形式(批次式和連續式)(連續式比批次好)
2 分散頭的剪切速率(越大,效果越好)
3 分散頭的齒形結構(分為初齒,中齒,細齒,超細齒,約細齒效果越好)
4 物料在分散墻體的停留時間,乳化分散時間(可以看作同等的電機,流量越小,效果越好)
5 循環次數(越多,效果越好,到設備的期限,就不能再好)
線速度的計算
剪切速率的定義是兩表面之間液體層的相對速率。
剪切速率(s-1)=v速率(m/s)
9 定-轉子 間距(m)
由上可知,剪切速率取決于以下因素:
轉子的線速率
-在這種請況下兩表面間的距離為轉子-定子 間距。
IKN 定-轉子的間距范圍圍為0.2~0.4mm
速率V= 3.14XD(轉子直徑)X轉速 RPM/60
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