貝丁漢ZLM900LSI激光干涉儀不能夠的測量數(shù)控機(jī)床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、外差式頻率,光纖和光束一對一的干涉儀
2、高柔性校準(zhǔn)模塊
3、動態(tài)測量速度可達(dá)4m/s
4、實(shí)時(shí)時(shí)間測量
5、可擴(kuò)展到六軸
6、用于3D也可快速調(diào)整
7、帶磁性鎖緊環(huán)的小反射鏡
8、速度4m/s
9、標(biāo)準(zhǔn)分辨率1nm
10、精準(zhǔn)度<50nm/m (使用高溫度傳感器)
11、用于筆記本
12、網(wǎng)絡(luò)兼容
技術(shù)參數(shù):
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真空中氦氖激光器平均波長 |
632.8nm |
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激光穩(wěn)頻 |
2*10-9,一個(gè)小時(shí) 2*10-8,壽命周期內(nèi) |
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激光束直徑 |
6mm (可選項(xiàng)3.2mm) |
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擴(kuò)展光束的輸出 |
1mW (等級2) |
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每束激光的測量軸數(shù)量 |
1,多可選6個(gè) |
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距離測量范圍 |
40m,多可選120m |
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角度測量范圍 |
±15°,20m長 |
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直線度測量范圍 |
±5mm,2m或10m長時(shí) |
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速度 |
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線性度 角速度 |
4m/s,可選項(xiàng)16m/s <320 rad |




