第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）

布魯克 DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低于5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業地位。通過整合其行業產品，DektakXT實現了性能。操作簡易，從研發到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代Dektak臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發光二極管（LED）、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。

DektakXT

Specifications規格

測量技術 探針輪廓技術

測量功能 二維表面輪廓測量

可選三維測量/

樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器 低慣量傳感器 (LIS 3)

探針壓力 使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配） 使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比 (HAR)針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖

樣品X/Y載物臺 手動 X-Y 平移：100mm (4 英寸)

機動X-Y 平移：150mm (6 英寸)

樣品旋轉臺 手動，360°旋轉;

機動：360°旋轉;

計算機系統 64-bit 多核并行處理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板顯示器

軟件 Vision64操作及分析軟件；

應力測量軟件；懸臂偏轉；

縫合軟件；三維掃描成像軟件

減震裝置 減震裝置可用

掃描長度范圍 55mm (2英寸)

每次掃描數據點 多可達120,000數據點

樣品厚度 50mm (2英寸) 晶圓尺寸 200mm (8英寸)

臺階高度重現性 <5?, 1σ在1μm臺階上

垂直范圍 1mm (0.039英寸)

垂直分辨率 1? ( 6.55μm垂直范圍下) 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

溫度范圍 運行范圍20 到 25°C (68到77°F)

濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝

系統尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);

附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)