- 品牌/商標:韓國COXEM
- 企業類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產地:韓國
一、情況簡介 :
CX-200系列掃描電鏡是在CX-100技術基礎上,創新調整了產品構架,性能進一步提高,達到世界當前同類產品的水平。作為COXEM公司新主力型產品,共分為4個標準化子型號。
CX-200TA型全自動掃描電鏡:渦輪分子泵+自動臺
CX-200DA型全自動掃描電鏡:油擴散泵+自動臺
CX-200TM型半自動掃描電鏡:渦輪分子泵+手動臺
CX-200DM型半自動掃描電鏡:油擴散泵+手動臺
“由于擴散泵對于真空環境的污染,造成儀器性能減退顯著,需要提高3倍以上維護頻率,對于大多數用戶來說,是不愿意接受的;另外真空環境污染造成樣品在高倍觀察時,產生碳沉積,影響圖像分辨率。因此從科學發展角度,從市場用戶的實際需要出發,COXEM暫不對外出售CX-200D系列產品。”
具有世界一流技術水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡,適合多種需求類型的客戶選購。
在選購時,您需要考慮的問題,工作效率:
掃描電鏡優劣評價標準,是掃描電鏡的工作效率高低(這個標準是DEMA馳奔定義),儀器客觀的工作效率是由儀器的軟硬件決定的,當基本的功能指標都相同或者相似,其中對效率影響的兩個因素,是真空系統的清潔程度和樣品臺的自動化程度。CX-200系列四個標準型號掃描電鏡根據以上兩個重要因素,進行組合而成。
馳奔對掃描電鏡工作效率簡單分析如下:
1、搜索樣品感興趣點的速度,樣品臺自動化程度越高,效率越高。計算機導航坐標定位馬達驅動系統要優于單純的馬達驅動,馬達驅動要優于手動。對于樣品全面分析檢測,統計特征點,自動臺體現高效率。當然如果您的樣品放進去,只是選擇一兩個區域來照相,自動臺意義不大。
2、高質量圖像獲得的效率:電子光學系統的自動化,或者更高的性能來提高效率。如熱場發射掃描電鏡看2萬倍,可以在2TV掃描速度下,清晰成像,而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬倍圖像,要清晰成像,光保存一幀圖像需要20秒以上,還不要說調整電子光學參數的功夫,如果不明就里,拿過來兩個圖像來比較,可能很難分出伯仲,因此有的人會說,在2萬倍水平上,鎢燈絲掃描電鏡和場發射掃描電鏡區別不大,這個前提就是忽略客戶的效率需求,比如工廠做晶圓上的芯片檢測,這里邊就有了效率需要,雖然一般檢測可能只看2萬倍,但對效率提出很苛刻的要求,鎢燈絲根本不能勝任。
3、系統真空獲得的效率:渦輪分子泵相對擴散泵具有明顯優勢。
3.1、眾所周知,渦輪分子泵可隨時開關機,油擴散泵開關機受到泵油升溫和冷卻的限制(開關機一個來回至少要等50分鐘),因此要么就開一天,要么一開就至少半天,半天如果只需要做一個小樣,照一張照片,那效率就更低了;除非擴散泵長期不關機,例如2-3個月,真空泵總保持啟動,那么效率還是很高的,這需要特殊照顧。
3.2、真空潔凈度對效率影響:渦輪分子泵真空潔凈度遠遠優于油擴散泵。泵油蒸汽分子,在電子束作用下分解為碳氫化物,污染樣品和末級光闌。電子束掃描樣品時,會被電子束誘導沉積到正在觀察的樣品區域表面,越高倍,沉積速度越快,污染降低se產額,從而降低成像分辨率;末級光闌在電子束作用下,容易沉積污染物,污染的隨機變化,在高倍引起的象散需要隨時進行校正。往往高倍需要逐級消象散,在一個區域調節電鏡參數到,然后迅速電位移到就近區域掃描存儲圖像,這降低操作效率
3.3、也同樣是污染的原因,擴散泵真空系統掃描電鏡需要的維護周期要短得多,一般建議3個月維護,而同樣工作條件,渦輪分子泵真空系統的一般建議是1年維護。
綜上所述:在操作周期內對效率影響的因素,自動化程度越高,效率越高。應該是樣品臺的自動化程度和真空潔凈程度;電子光學性能需要定位,5000倍以下,不明顯,5000倍以上就顯示高分辨和自動化的優勢。
通過以上簡單分析,對CX-200系列型號作如下推薦,原則是不至于讓您感到特別疲倦,讓您專注于材料的特征觀察分析。
1、如果您有大量的樣品要做,但要求管理維護簡單方便,應該選擇效率的CX-200TA型,
2、如果您有大量的樣品要做,同時可以接受較短的維護周期,可以選擇CX-200DA型
3、如果您的樣品量不算大,但隨時想看,又不希望花過大精力照顧掃描電鏡,請選擇 CX-200TM型
4、如果您的樣品量不算大,可以安排專門操作人員“照顧”掃描電鏡,可以選擇更加經濟的CX-200DM型
二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點:
CX-200系列中檔分析型掃描電鏡的卓越配置
硬件使用包括:水平的電子光學系統,中型樣品分析室,五軸精密或者超級精密機械對中樣品臺,高速渦輪分子泵真空系統或者高速油擴散泵真空系統,先進的SMT電路板制作工藝全數字化電器設備。
計算機及操作軟件使用新的CX-200納米工作站,輕爽操作體驗。
2.1、可實現功能:標配SE形貌像,可選配 BSE探測器成像,WDS, EDS微區元素分析,+CCD樣品室監控
2.2、基本性能特點
(1)、分辨率( 3.0nm@ 30kv ,10nm@ 3kv),錐形物鏡,長焦性能優越。
(2)、中型樣品室內部尺寸直徑為210mm,可同時接配多種探測器;
五軸精密機械對中樣品臺,自動或者手動控制。自動臺計算機導航控制,步進電機驅動19nm/步,Point & Go操作,具有坐標定位系統,點擊臨時存儲的圖像,樣品上的該位置能夠自動返回掃描視野中心;樣品上的z軸調節范圍5-65mm,實現對大型樣品,和很大高度梯度樣品的靈活操縱,使用自動臺,用戶可以實現對樣品更快速的評估和測量。
(3)、真空系統為渦輪分子泵真空系統,高效清潔節能; 或者更具經濟性的擴散泵真空系統。
(4)、新先進制作工藝的全數字化電器控制系統,與主機集成為一體,結構緊湊,穩定可靠,與計算機通訊采用USB/PCI接口。整機可輕松在很大范圍內移動。
(5)、數字化掃描系統,實現從實時基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式,這相對CX-100有了顯著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供的視覺質量。
(6)、自動控制:自動電子槍亮度,自動聚焦,自動消象散,自動亮度對比度控制,自動電子束對中,自動電子槍加飽和,自動偏壓,物鏡光闌自動搖擺對中合軸,增加了傾斜補償和自動聚焦功能。具有這些功能,用戶將能夠更輕松操作儀器。
(7)、GUI操作軟件:多種快捷按鈕,操作簡單方便,同時允許用戶自定義熱鍵,允許更高效的操作;圖像灰度直方圖實時顯示,可以幫助用戶保持的圖像質量;雙圖像顯示,允許用戶輕松比較不同圖像的差別;產品能夠使用MS-Office軟件生成,允許用戶創建數據。
我們公司盡全力制造和發展客戶您所需要的掃描電鏡產品。我們真誠希望,如果您有樣品或者問題,您會和我們聯系,我們無論如何都愿意從的角度盡可能幫助客戶。如有需要請與我司聯系
金溢電子(香港)有限公司
深圳市福田保稅區英達利數碼科技園B座210室
電話:/
QQ:
E-MAILL:@qq.com
聯系人:劉小姐








