雙頻激光干涉儀主要用作計量中的長度基準，隨著機床的不斷，激光干涉儀現已成檢定數控機床、坐標測量機位置的理想工具。同時雙頻激光干涉儀又是一種高的位移傳感器，可直接安裝在高機床及坐標測量機上，作為坐標系統，大大機床及坐標機的定位。除了長度測量外，儀器可根據用戶需要配置各種光學附件，測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差；還可按預定的間距自動完成檢測和精密刻劃的工作，因此雙頻激光干涉儀在微電子加工以及納米測量上有的作用。

提供成都科豐芯緣KF-A型雙頻激光干涉儀-技術指標

分辨率：     0.02μm    

 測量速度：   300mm/s                                                                        淘寶導購

測量距離：   25m   

提供成都科豐芯緣KF-A型雙頻激光干涉儀-儀器波長補償系統：

                大氣壓力            空氣溫度        材料溫度

測量范圍：    300～1100mba      0～40℃          0～40℃

分辨率：      0.1mba              0.01℃         0.001℃（或0.03℃）

精   度：     &plun;0.5mba             &plun;0.2℃      &plun;0.05℃（或0.06℃）.