一、概述

U22 系列單級減壓器清潔氣體，壓力穩(wěn)定。 可應(yīng)用于非腐蝕性氣體，腐蝕性氣體，和有毒氣體。膜片和閥體的密
封采用了硬密封的設(shè)計，降低泄漏率，同時提高了安全性和使用壽命

二、結(jié) 構(gòu) 特 點 Features
u 316L 不銹鋼閥體
u 膜片式硬密封，泄漏率低
u 可采用面板安裝和后座安裝
u 壓力表標(biāo)準(zhǔn)連接： 1/4” FSR(M)
可選：1/4” FSR (F)
u 內(nèi)部電解拋光
u 高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
u 使用壽命長
u 100% 氦氣測試

三、工 作 條 件 OpeRating Conditions
u 的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
u 出口壓力：0- 25 psi (1.7 bar), 0-50 psi (3 bar),
0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar)
u 溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
材 質(zhì) Materials
u 母體：316L
u 閥座：PCTFE, Vespel®
u 膜片：316L
u 上蓋：316

四、功 能 特 性 Functional Performance
u 流量：Cv=1.1
u 母體泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
u 閥座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
u 設(shè)計驗證壓力：額定壓力的 150%
u 設(shè)計爆破壓力：額定壓力的 400%

五、流 道 表 面 Surface Finish
u 標(biāo)準(zhǔn) Ra 20μin
u 可選 Ra 10μin
內(nèi)部容積 Internal Volume
u 22.6 cc

上海潔安流體科技有限公司  

上海潔安流體科技有限公司是一家經(jīng)國家相關(guān)部門批準(zhǔn)注冊的企業(yè)。上海潔安流體科技有限公司憑著良好的信用、優(yōu)良的服務(wù)與多家企業(yè)建立了長期的合作關(guān)系。主營進(jìn)口、國產(chǎn)氣體管道配件;氣體減壓器、流量計;瓶閥;針閥;膜片閥;球閥;壓力儀表;氣體配比器;管路連接件、管接頭;減壓器進(jìn)氣接頭;低溫安全閥;氣體切割器具;不銹鋼低溫供氣系統(tǒng);回火防止器;低溫截止閥;氣體匯流排;氣體控制面板;單向閥;表閥等產(chǎn)品。

上海潔安流體科技有限公司 聚集了一批高純工藝輸送行業(yè)的人才，為客戶提供全方位的高純介質(zhì)的制備、儲存和輸送系統(tǒng)的設(shè)計、安裝和調(diào)試服務(wù)。同時提供苛刻的生產(chǎn)環(huán)境所必須的室內(nèi)質(zhì)量控制設(shè)備和系

統(tǒng)。上海潔安一直以來秉持著為客戶提供合理的管路輸送方案為理念，以成為一流高純氣體輸送系統(tǒng)供應(yīng)商為目標(biāo)，為顧客提供了許多經(jīng)典解決方案。產(chǎn)品和服務(wù)廣泛應(yīng)用于以下各個領(lǐng)域：

 半導(dǎo)體    微電子   太陽能照明（光電    新能源 石油化學(xué)  生物制藥等

上海潔安作為高純管道系統(tǒng)安裝行業(yè)的技術(shù)者，擁有多年的成功經(jīng)驗。從工程的細(xì)化設(shè)

計到現(xiàn)場啟動，我們有足夠的經(jīng)驗和資源去完成每一個項目并讓您滿意，而且我們能提供

短的工期及具競爭力的價格。綜合了的技術(shù)，高效的工作和高素質(zhì)的團(tuán)隊，上海潔安

可以為您提供高純工藝系統(tǒng)從設(shè)計、咨詢、安裝、檢測、調(diào)試到協(xié)助的完美解決方案。

聯(lián)系方式

陸軍帥/小陸

上海潔安流體科技有限公司

電話：/

傳真：

郵箱：jiean_

地址：上海市松江南其昌路234弄54號502

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