| 品牌 | Aalborg | 型號 | DFC |
| 測量范圍 | 5SCCM ~ 1000SLPM |
設計特點: 工作原理: 被測量氣體被分成兩條層流通道,一條經過主通道,另一條經過毛細感應管。兩個通道保證在層流裝tia,所以他們的流量比率恒定不變。兩條熱的溫度線圈纏繞在感應管上,當有氣體流過的時候,氣體就把熱量從上游帶到下游的線圈。溫度變化與線圈的電阻改變成比例關系。
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| 品牌 | Aalborg | 型號 | DFC |
| 測量范圍 | 5SCCM ~ 1000SLPM |
設計特點: 工作原理: 被測量氣體被分成兩條層流通道,一條經過主通道,另一條經過毛細感應管。兩個通道保證在層流裝tia,所以他們的流量比率恒定不變。兩條熱的溫度線圈纏繞在感應管上,當有氣體流過的時候,氣體就把熱量從上游帶到下游的線圈。溫度變化與線圈的電阻改變成比例關系。