- 品牌/商標:Europlasma
- 企業(yè)類型:貿(mào)易商
- 新舊程度:全新
- 原產(chǎn)地:美國
產(chǎn)品介紹:
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反應(yīng)艙: 材料:鋁
有效尺寸:600 x 600 x 600mm
容積:216升
艙門:裝有可視窗口
托盤:5個。尺寸:562 x 660 x 40mm
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真空度測量:
皮拉尼真空計(利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關(guān)) - 真空泵:
旋片式真空泵;60m3 每小時;含真空泵油。 - 頻射發(fā)生器:
0~1000w可調(diào),100KHZ發(fā)生器 - 控制系統(tǒng):
觸摸屏操作,PLC控制系統(tǒng)
PLC可實現(xiàn)下列功能:
1、自動控制反應(yīng)過程;
? 2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程;
? 3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標;
? 4、監(jiān)測所有的運行指標,保證在設(shè)定范圍之內(nèi);
? 5、 設(shè)定操作、維護密碼。 - 電源:
380V AC、三相、50Hz、40A. - 反應(yīng)氣體:
一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC);根據(jù)用戶需要,可擴展 - 氣體輸入:
直徑1/4英寸(0.645厘米)管道;輸入壓力:1Bar. - 尾氣排放:
直徑28mm 輸出端口。 - 安全性能:
急停開關(guān);真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全。
可選件:
- 300 m3/小時 的機械增壓泵
- 頻射發(fā)生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
- 多個氣體輸入管道。
- 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
- 輥輪式載料系統(tǒng)。
- N2 Purge








