| 品牌 | 日本明立精機 | 型號 | handysam |
| 這一系列的產品都有兩個空氣壓縮振蕩器;水平方向和垂直方向。使用MAPS系列產品,可以體會到卓越的除震(主動抑制振動)和保持精密位置的性能。 主要特征: 隔振頻率范圍是被動系統無法實現的; 大負載,可以為一個10 噸以上的設備提供防震; 的位置重復性能; 容易安裝; 高性能,但價位較高; 主要應用: 納米科技領域 例如:MEMS應用,原子力顯微鏡,原子成像設備等 半導體、液晶制造或檢測領域 例如:半導體傳送設備,半導體加工設備,液晶檢測儀器等 航空、航天、航海等特殊領域 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| MAPS系列規格(MAPS Series specificaiton) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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