型號：
GSM - 氣體質量流量計：顯示氣體流量
GSC - 氣體質量流量控制器：顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關
GSF - OEM氣體質量控制器
特點：
數字和模擬訊號輸出
互補金屬氧化半導體組件
不受溫度及壓力變化影響
小壓力損失
高精準度和高分辨率
外型設計美觀體積精巧 (瑞士質量)
可抵抗壓力之沖擊
規格：
氣體種類 : Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10..etc. (or request)
本體材質 : Aluminum, Stainless Steel
封口材質 : Viton, EPDM
準確度 : Standard: +/-1.5%FS Hi-performance:+/-1% of reading
比率 : 1:100 (Request)
反應時間 : ＜150ms
壓力 : Max.14 bar
模擬輸出 : 4-20mA, 0-20mA, 0-5V, 0-10V,1-5V
數字輸出 : RS-485(Modbus RTU protocol)for Flow and Temperature
氣體范圍 : 2-200ml/min to 4-300Liter/min (Request)
電源供應器 : 24vdc +/-10%
EMC: EN50081,EN50082
