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三維原子探針 技術(shù)又稱斷層分析術(shù)(APT),能夠在原子級(jí)別上分析材料的三維立體結(jié)構(gòu)和成分,給出材料的三維原子排布和元素組成,是當(dāng)今世界為先進(jìn)的原子級(jí)分析技術(shù)。APT的應(yīng)用范圍覆蓋了金屬材料、半導(dǎo)體和陶瓷材料等領(lǐng)域, 與TEM、SIMS并稱為材料分析三大工具。
IMAGO公司出品的LEAP系列三維原子探針設(shè)備是三維原子探針技術(shù)的成熟設(shè)備,目前已為世界范圍內(nèi)材料所普遍接受,用戶遍及美國(guó)、日本、澳大利亞、歐洲等國(guó)家的主要研究部門和企業(yè)。
LEAP三維原子探針設(shè)備尤其適合分析一般設(shè)備所不能達(dá)到的區(qū)域,比如分析金屬合金的晶界、QP區(qū),分析半導(dǎo)體器件的內(nèi)界面(Analysis of Device Interfaces with LEAP),半導(dǎo)體材料的摻雜分布等。








