- 產品品牌：
- Filmetrics
- 產品型號：
- F10、RARTS、F20、F30、F40、F50
通過Filmetrics膜厚測量儀新反射式光譜測量技術,多4層透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在數秒鐘測得。其應用廣泛，例如 :
半導體工業 : 光阻、氧化物、氮化物。
LCD工業 : 間距 (cell gaps)，ito電極、polyimide 保護膜。
光電鍍膜應用 : 硬化鍍膜、抗反射鍍膜、過濾片。
極易操作、快速、準確、機身輕巧及價格便宜為其主要優點，Filmetrics提供四種不同型號以供選擇:
F20 : 這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區 至1700nm近紅外線區)為任意攜帶型。薄膜厚度范圍是 30a到100nm，為1a゜。
F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口。可實時監控長晶速度、實時提供膜厚、n、k值。并可切定某一波長或固定測量時間間距。更可加裝至三個探頭，同時測量三個樣品，具紫外線區或標準波長可供選擇。
F40:這型號安裝在任何顯微鏡外，可提供小5um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。
F50:這型號配備全自動xy工作臺，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。
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