- 產品品牌：
- ZETA
- 產品型號：
- 20&200
- Zeta-200是集三維成像和計量功能于一身的先進自動化表面測量系統。它功能配備齊全、使用方便，是自動三維測量系統中性能價格比優的選擇。Zeta-200能夠自動采集樣品上多點的工藝參數，如臺階高度、體積、尺寸及粗糙度等，為您提供監控及優化生產流程所需的數據。
- 放大倍數為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
- 1/3英寸CCD相機; 0.5倍耦合鏡
- 自動Z軸，30毫米驅動范圍
- 自動XY載物臺，200毫米x 200毫米驅動范圍
- 具有3GB內存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件
圖案間距，標準偏差
表面粗糙度
區域平均臺階高度 輪廓測量（輪廓儀）
臺階高度（臺階儀）
粗糙度參數（粗糙度測量）
多橫截面分析
平均值測量標尺
點對點測量標記
傾斜度和表面波度補償
陣列式采樣序列
自動數據與圖像輸出用于生產線SPC
應用：精密測量
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三維成像 樣品的真實顏色和形狀如何？ 獲取一幅測試樣品表面的全真彩色三維圖像往往是解決問題的步，它對做決定具有參考價值。 |
尺寸 寬度與高度有多少？ 對在顯微鏡下才看得到的零件，只要在我們的儀器上做掃描即可準確地測出諸如橫向尺寸、臺階高度、斜面傾角等參數。 |
三維精密測量 表面狀況如何？ 我們依據數以百萬計的數據點計算出來的二維和三維粗糙度參數，當然會比其它儀器用只掃一條線或只掃一個狹小視場所獲得的數據來得。 |
薄膜厚度檢測 表面上還有別的東西嗎？ 單層或多層薄膜可用我們的分光光度計（選項）來測量。這樣，用戶可以同時對表面形貌和長在表面上的薄膜進行研究。 |
