JJK采用AT切型的石英晶體基片，以保證晶控片（晶振片）本征頻率的溫度穩(wěn)定性。JJK的石英晶體基片采用平凸設(shè)計(jì)，即晶片的一面是平面另一面是規(guī)定屈光度的凸面。平凸設(shè)計(jì)能夠大幅度抑制主振動(dòng)模以外的雜散振動(dòng)模式，從而減少沉積速率和膜厚控制過(guò)程中可能發(fā)生的頻率跳變現(xiàn)象。
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