- 分辨率:(ppm)
- 外形尺寸:**(mm)
- 準確度:——(%)
- 重量:(kg)
- 測量范圍:——(m)
微傾臺架的傾斜角度±30′; 微傾臺架傾斜角度分辨率6″; 系統的標準偏差激光部分〈 1/400000; 系統的標準偏差光學部分〈 1/200000; 光學系統分辨力3μm; 二維光電數據采集器1、2的光柵尺±3μm二維光電數據采集器1的攝像頭分辨率640×480; 二維光電數據采集器2攝像頭的分辨率2048×1536;儀器工作溫度20±5℃; 儀器工作濕度范圍< 70 %RH; 電源AC220±10%(50Hz) V;







