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杭州克柔姆色譜科技有限公司網(wǎng)站
GC-126PDD/CF4分析專用氦離子化氣相色譜儀
1 統(tǒng)依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn):
電子工業(yè)用氣體 四氟化碳Gases for electronic industry—Tetrafluoromethane
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-126氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測器；采用克柔姆公司擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。
高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程，不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)，克柔姆色譜公司總結(jié)了高純氣體分析過程中的技術(shù)難點，并給出了所有難點的解決措施，使GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀成為國內(nèi)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。
產(chǎn)品的特點:
◆ 氣體行業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應(yīng)用氣體分離專用色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)
◆ 采用本公司技術(shù)的可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
技術(shù)特點：氦離子化氣相色譜儀
嵌入式32位處理器及多CPU系統(tǒng)開發(fā)，IT接口相關(guān)技術(shù)，實現(xiàn)溫度參數(shù)自動設(shè)置、檢測器選擇、檢測器操作參數(shù)和數(shù)據(jù)化自動調(diào)零功能、靈敏度和極性數(shù)字化設(shè)置。
全中文菜單操作界面，同時可顯示多組參數(shù)，操作非常簡單方便。
計算機反控功能，可以通過計算機操作儀器內(nèi)部所有功能（通過USB接口實現(xiàn)）。
高計時器集8路外部事件控制, 可集成多個文件對應(yīng)存儲。
無需外接工作站并提供模擬輸出接口。
氦離子化氣相色譜儀
柱溫箱：
◆溫度范圍：室溫加5℃- 400℃
◆控制：±0.1℃
◆程序升溫：9階
◆升溫速率：60℃/min
◆雙通道色譜柱流失補償
進樣器：氦離子化氣相色譜儀
◆多可裝載三個進樣器（2個填充柱進樣，1個毛細(xì)管柱進樣）或2個毛細(xì)管柱進樣器。
◆進樣器單元：有獨立的分流/不分流進樣器系統(tǒng)和填充柱進樣器系統(tǒng)
檢測器:
◆多可裝載三個檢測器
◆氫火焰離子檢測器（FID）：
溫度范圍為室溫加7℃~ 400℃；檢測限 ≤4×10-12g/s，樣品：C16
◆高靈敏度熱導(dǎo)檢測器(高TCD）：
溫度范圍為室溫加7℃~ 400℃；靈敏度≥5000mv•ml/mg
產(chǎn)品的成套配置:氦離子化氣相色譜儀
儀器名稱
型號規(guī)格 廠家 數(shù)量 報單價 合計價 備注
氦離子化氣相色譜儀
GC-126PDD 上分廠/ 克柔姆 1臺
配備PDHID氦離子化檢測器
多柱箱系統(tǒng) 上分廠/ 克柔姆 1套 可以根據(jù)分析的需要設(shè)置不同的柱箱溫度，以滿足樣品分離的需要
中心切割與 反吹系統(tǒng):
吹掃十通閥1只;吹掃六通閥2只. VALCO /克柔姆 1套
配備3個帶吹掃保護氣路的原裝進口閥：二次進樣，
無需更換色譜柱即可完成對氫、氧、氮、氬、
二氧化碳等多種樣品中痕量雜質(zhì)的分析。
色譜柱: Hayesep Q ; Hayesep R ; MS 5A * 3 支 克柔姆 3根 可分離樣品中的H2、O2
N2、CO、CO2、CH4等雜質(zhì)
CO防拖尾處理技術(shù)
載氣純化器:
HP-2 VALCO 1臺 雜質(zhì)含量≤10ppb
載氣過濾器 VALCO 1個 2μm孔徑
樣品過濾器 VALCO 1個 20μm孔徑
標(biāo)準(zhǔn)氣體 1套 含:
一、分析5N純度的CF4配標(biāo)氣
1．氫氣 5 PPM
2、氧氣 5 PPM
3．氬氣 5 PPM
4、氮氣 10 PPM
5、二氧化碳 5 PPM
6、一氧化碳 5 PPM
7、六氟化硫 10 PPM
8、四氟化碳 50PPM 定性
9、二氟甲烷 CH2F2 10 PPM
10、三氟甲烷 CHF3 10 PPM
11、六氟乙烷 C2F6 10 PPM
余氣：He（共1瓶） 8 L
高純氦氣:40L 1瓶 自備 / 純度不低于99.999%
高純氮氣:40L 1瓶 自備 / 作為自動閥的驅(qū)動氣使用
無死體積專用
取樣閥帶吹掃 克柔姆 4個取樣時防止空氣滲入，帶放空結(jié)構(gòu)設(shè)計
載氣專用兩級
不銹鋼減壓閥 HORO 1個 HORO兩級減壓穩(wěn)流
高純氣專用色譜工作站 克柔姆 1套 自動控制切割、反吹、進樣等過程；并實現(xiàn)對色譜主機的操作控制
技術(shù)參數(shù)：
儀器的應(yīng)用范圍：
1.本儀器主要應(yīng)用于高純CF4氣體中微量雜質(zhì)的分析，具體內(nèi)容詳見下表：
| 氣體種類 | 需分析的雜質(zhì)種類 | ||||||||
| He載氣 | H2 | O2 / Ar | N2 | CO | SF6 | CO2 | CH2F2 | CHF3 | C2F6 |
| 儀器的小 檢測限（PPb） | 30 | 30 | 30 | 50 | 50 | 30 | 50 | 50 | 50 |
氦離子氣相色譜儀
主要特點：
流程特點:
1. 采用中心切割系統(tǒng); 完成對CF4的有效切除; 確保H/Q柱子是干凈的.
2. 采用中心切割系統(tǒng);可有效放空預(yù)切柱子H/DB的重組份雜質(zhì);若有水份峰
可采用中心任意切除.
3. 柱子H/Q與預(yù)切柱子H/DB同時安裝在色譜柱箱內(nèi), 升溫后可同時趕走二支柱
內(nèi)的吸附性組份.
4.采用中心切割系統(tǒng)后; 分離柱子H/Q的載氣是獨立的而且是增加柱子流速的,
以提高二氟甲烷(CH2F2)、三氟甲烷(CHF3)、六氟化硫(SF6)、六氟乙烷 (C2F6)
各組份峰的峰高增加檢測的靈敏度.
分析過程
1.四氟化碳分析通過程序設(shè)定，樣品通過定量管定量進入預(yù)柱1/8”*3m Hayesep DB，預(yù)柱很好的把CF4中CO2和H2、O2、N2、CO組分分離，待H2、O2(Ar)、N2、CO 流出預(yù)柱，自動切換十通閥。然后CF4主峰由V2閥切割中心切割排空,這時可能有的CH4同時會被放空,余組份放入Hayesep/Q中,而H2、O2(Ar)、N2、CO經(jīng)5A柱分離進入檢測器；CO2及以后的二氟甲烷(CH2F2)、三氟甲烷(CHF3)、六氟化硫(SF6)、六氟乙烷 (C2F6)等經(jīng)1/8”*6m Hayesep/Q柱再由V3閥切換進入檢測器，完成整個分析。
2.分析采用二次進樣方式.標(biāo)氣定性外標(biāo)法定量分析;
一、 中心切割與反吹系統(tǒng)：
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設(shè)置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測：
VALCO吹掃型十通閥：
GC-126PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為原裝進口VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程：
二、 HP-2氦氣純化器：
可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
操作壓力：1000Psi
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度：≤10ppb
三、 無死體積取樣閥
四、 載氣專用減壓閥
五、 背壓閥控制的進樣技術(shù)
六、 具備反控功能的GC-126氣相色譜儀
Chrom-2010PDD專用色譜工作站
其主要 性能參數(shù)及功能如下.
硬件性能:氦離子化氣相色譜儀
通訊接口：USB接口
高：24位的高A/D，分辨率±1uv。
輸入通道：外置數(shù)據(jù)采集盒，輸入通道2個。
輸入電平范圍：-2v至+2v
采樣頻率：多50次/秒.
動態(tài)范圍：106（1μv為小單位）。
積分靈敏度：1μv•sec（即面積的個位數(shù)）。
線性度：<±0.1%。
重現(xiàn)性：0.06％。
軟件功能:
實時性：真正WINDOWS 環(huán)境下的實時數(shù)據(jù)采集，RS232接口雙通道數(shù)據(jù)采集，采樣同時可對采樣數(shù)據(jù)實時進行分析、存儲，實時顯示色譜峰保留時間。可隨時設(shè)定采樣頻率，改變峰寬，斜率，停止時間等參數(shù)。
靈活的峰識別和處理能力：自動識別拖尾峰，重疊峰，鋸齒峰和前后肩峰等，自動基線切割。可通過調(diào)整參數(shù)和時間程序自動重分析，可通過手動修正方式進行色譜峰的識別、刪除及調(diào)整基線切割。另外可以對譜圖任意重分析，放大，移動，逐點跟蹤，添加組份名，譜圖復(fù)制，多譜圖比較，基線扣除等。
輕松定性（任意多點校準(zhǔn)）：可自動或手動編輯峰鑒定表。自動計算校正因子，提供單點，任意多點平均，任意多點校正，并直觀地顯示校正曲線。
定量方法：提供歸一法，內(nèi)標(biāo)，外標(biāo)，修正歸一法，帶比例的修正歸一法，指數(shù)法六種常用的定量計算方法。
自定義分析方法：用戶針對某種樣品分析而設(shè)定的方法及參數(shù)、時間程序、峰鑒定表等可以方便的保存到用戶自命名的方法文件中。因此針對不同的樣品可以調(diào)用不同的方法文件。
多種格式數(shù)據(jù)存儲：用戶可以自命名保存歷次分析的譜圖、結(jié)果等，并且可將譜圖文件，結(jié)果文件保存為文本格式或?qū)С龅紼XCEL中，利用別的作圖工具重新作圖或重新計算。也可直接復(fù)制譜圖到剪貼板然后粘貼到用戶需要的文檔中。
多種自動計算主式：自動計算質(zhì)量比與響應(yīng)值； 自動套算汽油中醇、醚類化合物及苯和甲苯含量；自動計算汽油中醇、醚類化合物的含氧量；并能同時分別計算出組份質(zhì)量濃度與體積濃度。
靈活的打印功能：可預(yù)覽及打印譜圖、結(jié)果、分析參數(shù)（包括峰鑒定表）等，用戶可自動設(shè)置打印頭，調(diào)整打印方式，滿足您各種打印要求。
操作直觀便捷：簡潔清晰的全中文圖形界面， 方便用戶順利完成操作。
