Extrel殘余氣體分析儀是一種結果可靠、操作簡便的全壓力范圍檢測的殘余氣體分析儀。它在同價位的儀器中能提供的性能,能提供理想的背景氣分析、泄露氣體檢測和真空腔表征。
應用領域:
殘余氣體分析
UHV腔
除氣
泄露檢測
TPD
等離子體分析
燃燒分析
排放分析
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聯系方式:
美國 Extrel 質譜公司中國總代理 :
北京東西分析儀器有限公司
電話:
傳真:
聯系人:國際事業部
技術參數:
質量范圍:1~100amu 1~300amu
質量過濾器:6mm四極桿
一般靈敏度:0.15mA/Torr
壓力范圍:大氣壓到10-9Torr,皮拉尼壓力(真空)計和貝阿德-阿爾珀特真空計組合
掃描頻率范圍:1,000~0.1 amu/sec
質量校正穩定性:加熱后(30分鐘)+/-0.1 amu
分辨率:質量數范圍內1amu
離子源:開放式,電離源
燈絲材質(雙燈絲設計):釷銥
電子能量范圍:10-150 eV
電子發射電流:0.1-5 mA
探針材料:304SS,科瓦鐵鎳鈷合金,氧化鋁,鎢,依,銅,鎳
探針鑲嵌法蘭:70mm
退火溫度:300℃
電源使用溫度:50℃
電源要求:2.1A/24伏直流電,100/250伏交流電,50/60赫茲電源適配器供應
總重:2.27Kg
主要特點:
Extrel殘余氣體分析儀可用在兩個質量數范圍:1~100amu或者1~300amu。系統標配法拉利杯檢測器,可選配法拉利杯/電子倍增器雙檢測器。
系統裝備有一個皮拉尼壓力(真空)計和貝阿德-阿爾珀特真空計,這使得用戶能得到從大氣壓到超高真空的全范圍壓力檢測。
Extrel殘余氣體分析儀裝配上完整的泵站后可作為一個系統使用。泵站包括:一個70 l/s渦輪分子泵,膜泵, 毛細管進樣口。腔使用2 (二又四分之三)英寸法蘭鑲嵌。
Extrel殘余氣體分析儀利用RS-232或USB接口與Windows 2000或windows XP操作系統通訊。軟件功能強大,易于使用。





