儀器簡介：
技術參數：
主要特點：
Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的新型探針式表面輪廓儀(臺階儀)產品，主要應用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領域。
Dektak 150集四十余年的技術積累和創新于一身，為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復，并降低了地板噪音對測量的干擾。基于Windows XP的Dektak隨機配備軟件系統界面友好，為用戶提供了完善的分析功能。“一鍵式”操作方式使得測量工作簡單易行。通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。
技術參數：
測量重復性 6Å
掃描長度 50μm-55mm
單次掃描數據點 60,000個
允許樣品高度 100mm (根據配置不同會有所變化)
垂直范圍量程 524μm (1mm選配)
垂直分辨率 1 Å (6.55μm量程范圍下)
樣品臺 150mm，X-Y-θ手動調節
探針壓力范圍 1-15mg (0.03mg選配)
攝像頭顯微鏡視野范圍2.6mm (0.67-4.29mm選配)
主要特點：
1. 臺階高度測量的高重復性
2. 基于精密加工光學參考平面的樣品臺，
確保在長距離掃描中基線的穩定性
3. 出色的易用性、易維護性
4. 的樣品適用性
5. 高分辨率的粗糙度測量
6. 功能強大的軟件分析系統
7. 三維表面形貌測量的功能可升級性
8. 廣泛的應用領域
