| 產品特點 | |
| ● 整體一體化新外觀設計 ● X、Y、Z三軸伺服控制、定位高，運行平穩 ● X、Y向導軌采用高花崗石，性能穩定，不易變形 ● 操縱稈/鼠標操作、方便易用 ● 程控恒流驅動式四環四驅冷光表面光源，可適應復離的工件測量 ● 激光指示器指示測量位置，方便快速定位 ● Y向傳動為定位導向，運行更平穩，更高 ● 行程大，測量范圍更廣 | |
| 技術規格參數 | |
| 機臺結構 |
| 型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H |
| X/Y軸行程(mm) | 800*1000 | 1000*1200 | 1200*1500 |
| 玻璃臺尺寸(mm) | 885*1158 | 1085*1358 | 1285*1858 |
| 外形尺寸(m) | 2.17*2.38*1.56 | 2.37*2.58*1.56 | 2.57*2.88*1.56 |
| 整臺重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 |
| Z軸運動行程 | 200mm |
| X/Y軸速度 | 300mm/s |
| 光學系統 |
| 變倍鏡頭 | 進口 倍率 0.7X～4.5X |
| 光源 | 表面光源-LED表面環形光源 底光源-LED新型直線光源 |
| 光學尺分辨力 | 0.5μm |
| X/Y示值誤差 | (4+L/200)μm |
| 攝像機 | 彩色1/2"CCD攝像機 |
| 激光平面度測量 | 重復性3μm(選配激光位移器時) |
| 物方視場 | 11.1mm～1.7mm |
