★  X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
      由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，可得到以往十的X射線強(qiáng)度，從而可以微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的。

★  無(wú)需液氮的半導(dǎo)測(cè)器 
      在進(jìn)行薄膜測(cè)量與有害物質(zhì)的濃度測(cè)量時(shí)，高分辨率的檢測(cè)器是不可少的。SFT9500的檢測(cè)器不但可以高分辨率，而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí)，由于使用了電子冷卻方式，所以無(wú)需液氮。

★  能譜匹配軟件（選配件）
       可識(shí)別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫(kù)中哪一個(gè)樣品較為接近的軟件。對(duì)識(shí)別材料十分。

★  塊量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件）
      可簡(jiǎn)單地測(cè)量出電鍍液中主要金屬的濃度。

★  繪圖軟件（選配件） 
       將元素面分析的結(jié)果進(jìn)行等高線和色彩使用等視覺(jué)處理的軟件。

★  電鍍液容器（選配件）

★  各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（選配件）

SFT9500產(chǎn)品規(guī)格

可測(cè)量元素

原子序數(shù)13(Al)～83(Bi)

X射線聚光

聚光方式

X射線源

管電壓：50kV
管電流：1mA

檢測(cè)器

Vortex®檢測(cè)器(無(wú)需液氮)

分析范圍

Φ0.1mm、Φ5mm

樣品觀察

彩色CCD攝像頭（附變焦功能）

濾波器

3種模式自動(dòng)切換

樣品室

樣品平臺(tái) 240(W)×330(D)mm
移動(dòng)量      X：220mm  Y：150mm   Z：150mm
載重量      10kg

重量

123kg(電腦)

X-ray Station

臺(tái)式電腦 19"LCD
(OS; MS-Windows XP®)

膜厚測(cè)量軟件

薄膜FP法（多五層，各層十種元素）
檢量線法（單層、雙層、合金膜厚成分）

定量分析功能

塊體FP法

統(tǒng)計(jì)處理功能

MS-EXCEL®

制作

MS-WORD®

安裝環(huán)境

溫度：10℃～35℃(&plun;)5℃
濕度：35%～80%

使用電源

接地三頭插座 AC100、15A