產(chǎn)品介紹
Verifire™ ATZCoherent Artifact SuppressionRing of Fire™點光源是Verifire™ AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎(chǔ)，傳統(tǒng)的激光干涉儀用的是相干點光源，在測試腔中形成相干光。但是，點光源在光路中遇到細小顆粒時同時也會產(chǎn)生寄生的干涉條紋（牛眼環(huán)）。的Ring of Fire™光源系統(tǒng)是只對光學腔產(chǎn)生干涉，而將干涉腔外的細小顆粒產(chǎn)生的干涉條紋遏制，整個干涉儀的性能得到增強，所測量的性能得到增強，所測量的結(jié)果更令人信服。高的光學元件和光學系統(tǒng)需要的測量技術(shù)和方法，不需要具備操作簡單和長期穩(wěn)定的檢測設備和方法，同時更需要更品檢測的需求。ZYGO Verifire™激光干涉儀做的Ring of Fire™光源技術(shù)，消除了長期困擾的“牛眼環(huán)”所帶來的測量上的影響，將測量到一個新的臺階，同時配備ZYGO自主開發(fā)的Metropro軟件，以及與傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件，真正使Verifire™激光干涉儀在、簡易和穩(wěn)定基礎(chǔ)上新的高度。可以說，ZYGO Verifire™激光干涉儀不是新一代的激光干涉儀，更是新的干涉測量技術(shù)的。
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