電感耦合等離子體質譜儀 (簡稱ICP-MS），是20世紀80年代發展起來的一種新的微量（10-6）、痕量（10-9）和痕量（10-12）元素分析技術。可測定元素周期表中大部分元素，低的檢出限、寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。

性能優勢

1、分析速度快、操作簡單、靈敏度高、背景噪音低、消除干擾效果更佳、維護方便。
2、一鍵式等離子體設置使得等離子體的優化更為簡便具有好的重現性。
3、等離子體屏蔽技術，大地儀器的靈敏度，低質量數元素的檢出限，ppt水平。
4、具有的活動接口門結構，可在真空下替換和裝卸采樣錐與截取錐，便于日常維護。
5、六級桿碰撞反應池，離子傳輸效率和消除多原子離子干擾能力。
6、無需數/模切換，由計算機全自動設定和控制，實現9個數量級的濃度動態范圍。
7、新型真空腔體結構，導線連接，各個組件采用不對稱安裝和式安裝。

軟件優勢

ICP-MS2000提供便捷的操作軟件，直觀，。軟件囊括了目前分析方法，包括的同位素比值和同位素稀釋法。
智能選擇方法、智能儀器調諧、QC質量控制、多種分析方法組合功能、序列分析、自動監測功能、自定義格式。

儀器配置

進樣系統：敞開式進樣系統結構，使用外部安裝的霧化器，自我定位，無需調整。
蠕動泵：計算機控制3通道12滾軸低脈沖蠕動進樣泵，轉速可調。
霧化器：石英玻璃同心霧化器(0.8 mL/min)。
霧化室：小體積，低記憶效應，采用半導體制冷裝置高純石英霧化室，單通道梨型帶撞擊球。
炬管：整體型石英炬管，1.5 mm口徑。
ICP源：27.12 MHz固態技術，水冷，功率1600 W。計算機控制功率，自動點火與熄火。
炬位調整系統：計算機控制x、y、z三維炬管位置，調整參數存入分析方法內。
氣體控制系統：3個計算機控制的質量流量計，用于霧化氣，輔助氣，等離子體氣的氣流量控制。
斷電保護系統：在意外停電發生時，自行關機，而不損壞儀器系統。
接口：鎳錐，具有的活動接口門結構，易于替換和裝卸采樣錐與截取錐。
活動閥門：計算機控制閥門，保護儀器真空，便于在真空系統工作時拆裝和清洗采樣錐和截取錐。
離子透鏡系統：配有率六桿離子導向系統，在全質量范圍內獲得的離子傳輸效率，全自動的離子聚焦調諧過程，真空室內的透鏡使用非對稱安裝，方便拆裝定位。
四桿特征：鉬四桿，主桿180 mm×12 mm，預四級桿20 mm×12 mm，開蓋即可安裝，拆裝。
四桿RF發生器：風冷2.0 MHz，質量軸穩定性<0.05 amu/day。
質譜范圍：2~255 amu。
檢測器：ETP雙模式檢測器，分成兩部分分列打拿電子器，無需數/模切換。
測量范圍：>108
多通道信號分析器：65000道多通道信號分析器，適應信號分析要求。
信號采集模式：跳峰，掃描，分段掃描，同時跳峰和掃描混合型。
軟件：提供自動控制儀器及其附件的能力，Windows 2000/XP/vista/win7(32位或64位)操作系統。
水循環系統：溫度控制：10~40℃；小流速：5升/分鐘，壓力控制：0~600 kPa。

技術參數

質量數量范圍：2~255 amu
測量范圍：≥108      
靈敏度： Be≥2×106 ； In≥35×106 ； U≥30×106     單位（cps/mg/L）
檢出限： Be≤10；In ≤2；U≤2  單位（ng/L）
分辨率：0.6~0.8 amu
信噪比：≥50×106           
背景噪音：≤2 cps（全質量范圍）
質量軸穩定性：≤0.05 amu/24 h
穩定性RSD： 短期≤3%；長期≤4%
氧化物離子：CeO+/Ce+≤3%
雙價離子：69Ba2+/138Ba+ ≤3%
同位素比：（107Ag/109Ag）≤0.3%
豐度靈敏度：≤1×10-6低質量端；≤5×10-7高質量端

應用領域

1、環境領域：飲用水、海水、環境水資源食品、衛生疫、商檢等。
2、半導體領域：高屬，高純試劑，Si 晶片的痕量雜質，光刻膠等。
3、醫藥及生理分析領域：頭發、全血、血清、尿樣、生物組織等醫藥研究，是全血鉛的測定。
4、核工業領域：核燃料的放射性同位素的分析，初級冷卻水的污染分析等。
5、其他領域：如化工，石化、地質等。